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戈尔企业发布测量超滤和微滤组合去除细微颗粒新方法
戈尔工业品贸易(上海)有限企业 / 时间:2012-07-09 09:49:02
  据美通社亚洲2012年7月9日讯 W. L. Gore & Associates(戈尔企业)和CT Associates发布了一份白皮书,先容一种新的测量方法,能够测量半导体行业超纯水中小于50nm的颗粒,并通过超滤(UF)和微滤(MF)的组合去除最小达12nm的颗粒。
  半导体厂商们希翼知道的是,他们的UPW(超纯水)系统能够生产不含微小颗粒的水,这些微小颗粒会导致不良率问题。当他们的线宽更小时,这种严格的颗粒尺寸可以小到10nm或更小。当前的颗粒计数仪不能测量这么微小的颗粒,但是半导体厂商需要知道的是,他们的UPW系统所采用的过滤策略要有能力捕获这么微小的颗粒。
  目前已经开发出的颗粒检测技术能够让过滤芯厂商在实验室的环境下测量对这种微小颗粒的过滤效率。这种技术依赖于将UPW蒸发变成气态雾状的创新方法。即让来自UPW的颗粒保持气相,从而使其能通过常规气态颗粒探测仪精确测定微小颗粒的尺寸和数量。
  这种方法目前已经广泛用来评估大多数UPW系统所采用的超滤模组的过滤性能。该测试显示,尽管这些超滤模组具有很高的过滤精度,但一些极小的颗粒仍能穿过超滤膜,从而给半导体厂商带来风险。该测试方法还进一步显示,一种过滤精度极高的微滤过滤芯能够截留大部分的微小颗粒。最后,验证了同时采用超滤模组和高精度微滤过滤芯的过滤系统对小至12nm的颗粒展示了卓越的过滤效果。
  最新的白皮书“超滤和微滤相结合能够去除UPW中12nm的颗粒”,由CT Associates, Inc. 的Donald C Grant和Dennis Chilcote以及W. L. Gore and Associates, Inc.的Uwe Beuscher 共同撰写,可在线阅读www.ultrapurewater.com上ULTRAPURE WATER Journal的5/6月刊。11月13~14日在美国亚利桑那州凤凰城的“超纯水-微会议”上将进行演示。
 
Gore滤芯

  GORE聚四氟乙烯滤膜,在全球半导体、电子、超纯水、高纯化学品行业用最佳过滤器中已有数十年的应用经验。30多年来,戈尔企业以独创、可靠的PTFE薄膜产品,帮助了众多微电子厂商提高生产效率、降低设备停机时间并提升通量。
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